金相显微镜依靠落射反射光观测金属、半导体、PCB 等不透明样品,分为正置金相、倒置金相两大产品线;正置物镜从上往下照,倒置物镜从样品底部向上观测。
一、主流型号分类
1、正置金相系列(样品平放,物镜从上观察;适合薄片、晶圆、PCB 切片、小试样)
BX53M(市场主力・科研级)
光学:UIS2 无限远校正光学系统
观测模式:明场 BF、暗场 DF、偏光 POL、微分干涉 DIC、MIX 混合照明、可选荧光 / 红外 IR
模块化机身,手动 / 半自动;搭配 PRECiV/Stream 图像分析软件
典型用途:金相组织评级、夹杂物分析、半导体晶圆缺陷、镀层厚度测量、失效分析
MX63(半导体专用大平台机型)
大行程电动载物台,适配 8/12 寸晶圆、显示屏基板,电子厂大批量检测首选。
旧款:BX51M(已停产,二手流通量大)
2、倒置金相系列(样品抛光面朝下放置,物镜从下方观测;适合大块金属试样、锻造 / 铸造毛坯)
GX53(在售新型主力)
LED 环形落射光源,支持 MIX 明暗场混合成像
长工作距离物镜,不易碰撞样品
适用:钢铁金相、球墨铸铁、焊缝剖面、大型金属零部件检测
GX41(入门经济型倒置)
性价比机型,基础明场 + 简易偏光,中小企业常规金相检测
旧高端机型:GX71/GX81(停产,二手)
3、数码一体化金相(DSX 系列,DSX1000 / DSX510i)
一体化电动数码显微镜,无需目镜,屏幕直接观测;自带测量、拼接、全聚焦,适合产线快速巡检。
二、常用观测模式说明
明场 BF:常规金相组织观察(珠光体、铁素体、晶粒)
暗场 DF:凸显微小划痕、表面颗粒、晶圆微小缺陷
偏光 POL:铝合金织构、矿物、晶体、应力观察
微分干涉 DIC:呈现浮雕三维效果,分辨表面纳米级高低差
MIX 混合照明:同时开启明场 + 暗场,兼顾轮廓与细微缺陷(奥林巴斯特色技术)
三、典型应用行业
冶金机械:钢材晶粒度、球墨铸铁评级、焊缝、非金属夹杂物
电子 PCB:切片铜厚、孔壁镀层、线路缺陷、分层失效
半导体:硅片、芯片封装、光刻缺陷(选配红外 IR 物镜透视硅基底)
新材料:涂层、陶瓷、复合材料、3D 打印金属微观分析
质检第三方实验室、高校材料学院
四、选型关键建议
样品选择机型
大块金属试样、锻造铸件 → 倒置 GX53/GX41
薄片、晶圆、PCB 切片、小件样品 → 正置 BX53M
产线快速抽检、不想制样调试 → DSX 数码显微镜
配置要点
标准金相检测:明场 + 简易偏光足够
半导体、精密失效分析:必须配齐暗场 + DIC 微分干涉
成像:搭配奥林巴斯工业相机 + PRECiV 金相分析软件(支持国标晶粒度自动评级)
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