工业显微镜

STM7测量显微镜

良好的光学性能
STM7系列采用了当前光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。
因此，观察到的图像具有高分辨率和高对比度，像差也被完全消除，以确保实现对微小细节的高精度测量。

联系我们

全国热线15921143802

产品详情

花岗岩精制而成的载物台基座增强了测量的可靠性

为了进一步保证测量精度，STM7系列采用了一个配备花岗岩基座的高度耐用和防振动的镜架。由于花岗岩的高稳定性，使测量可到达亚微米水平，并大大降低误差。

图片47.png

简单易用的高精度3轴测量

随着现代制造技术日益小型化和精密化，高精度测量也日趋重要 — 不仅是XY轴平面的测量，Z轴方向的高精度测量也成为必须。为此，奥林巴斯开发了采用主动反射、共聚焦方法的自动聚焦系统。

图片48.png

至大测量行程300 mm x 300 mm

提供三款具有不同测量行程的载物台供选择：100 mm x 100 mm、200 mm x 200 mm和300 mm x 300 mm。不管是大的样品还是小的样品，总有一款载物台适合您的应用。

图片49.png

图片50.png

图片51.png

_STM7-CS100

^{100 mm x 100 mm}

_STM7-CS200

^{200 mm x 200 mm}

STM7-CS300

^{300 mm x 300 mm}

简单且具有可重复性的聚焦系统

奥林巴斯的聚焦导航系统通过将图案投影在视场范围内，并由操作员确认上下图案的重合情况，可为高度测量操作带来高重现性。在常规目视观察下进行高度测量时，即使是看上去非常清晰的已经完全合焦的图像，也会出现微小误差。但使用聚焦导航系统时，只需匹配标记便可进行测量，因此减少了操作员的主观性对测量结果造成的影响。

图片52.png

STM7解决方案

STM7提供300 mm x 300 mm载物台，能够测量较大的样品，包括300 mm晶圆和印刷电路板。

X轴和Y轴测量区域长度相等，因此无需旋转样品

较长的X轴和Y轴测量区域允许在载物台上排列多个样品，实现更好的测量

STM7规格（手动型号）

			手动型号
			小型载物台	中型载物台	大型载物台
显微镜主体			STM7-SF	STM7-MF	STM7-LF
	聚焦	垂直移动范围	175 mm		145 mm
		最大测量高度	120 mm（使用测量物镜）		90 mm（使用测量物镜）
			175 mm（使用金相物镜）		145 mm（使用金相物镜）^*1
		Z轴测量分辨率	0.1 um
		Z轴驱动方法	手动同轴微调焦/粗调焦旋钮
	照明	LED 照明	白色：用于反射光照明，绿色：用于透射光照明
观察镜筒			MM6-ETR正像三目镜筒（100:0/0:100）
目镜（F.N.22）			MM6-OCC10X（带十字线）、MM6-OC10X
物镜	BF（明场）		MM6C-KMAS
			照明
			U-5RES-ESD
			物镜转换器
			MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X
			金相物镜
	BF（明场）/DF（暗场）		MM6C-RLAS
			照明
			U-D5BDRES-ESD
			物镜转换器
			LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD
			金相物镜
LED 装置	白色（反射）		MM6-ILW
	绿色（透射）		MM6-ILG
载物台			STM7-CS100	STM7-CS200	STM7-CS300
	测量范围		X轴100 mm，Y轴100 mm	X轴200 mm，Y轴200 mm	X轴300 mm，Y轴300 mm
	测量精度		(3+2L/100) μm	(3+4L/200) μm	(3+6L/300) μm
	（L：测量长度）
	精度保证重量		6 kg	10 kg	15 kg
计数器			STM7-DI
	轴数		三轴
	单位		毫米/微米/英寸/密耳
	最低分辨率		0.1 um
	控制箱		STM7-CB
	手控开关		STM7-HS
	聚焦控制器		－
	接口线缆		－
防振基座			－	STM7-VI
电源线缆			UYCP
尺寸（宽x深x高）mm			466 x 583 x 651	606 x 762 x 651	804 x 1024 x 686
重量（kg）			84 kg	152 kg	277 kg
功耗			100-120/220-240V - 50/60Hz	100-120/220-240V - 50/60Hz	100-120/220-240V - 50/60Hz
			0.3A/0.2A	0.3A/0.2A	0.3A/0.2A